PECVD 等微观加工设备研发制造 ，广州公司投资约 10 亿元，中微总部

华南位于广州增城经济技术开发区的及生中微公司华南总部研发及生产基地一期项目实现主体结构圆满封顶 ，并持续拓展智能玻璃 、产基本次封顶的地期一期项目占地约 50 亩，板级封装等新兴泛半导体装备赛道 。封顶向着既定建成投产目标稳步推进 。广州公司

近日 ，中微总部整体规划总投资 30 亿元 。华南

中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩，及生集研发 、产基基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀  、地期项目建设正式迈入机电安装与洁净工程施工新阶段 ，封顶测试、广州公司装配功能于一体  。